مقدمة عن إمداد الهواء عبر خط أنابيب النيتروجين النقي
كل النقاء العالي، النيتروجين النقي في الأنابيب المطلوبة لتوصيلها إلى الأداة (POU) عبر الأنابيب. لتحقيق متطلبات جودة الأداة، وفي حالة مؤشرات مخرج الغاز، من الضروري التركيز بشكل أكبر على نظام الأنابيب، واختيار المواد وجودة البناء. بالإضافة إلى دقة الغاز أو معدات التنقية، فإنها تتأثر بشكل كبير بعوامل عديدة لنظام الأنابيب. لذلك، يجب أن يتم اختيار الأنابيب وفقًا للمبادئ الصناعية ذات الصلة، مع تحديد نوع المادة المستخدمة في الأنابيب.
تُختار مادة أنابيب النيتروجين النظيفة بناءً على احتياجات الاستخدام، ويُستخدم عادةً 316L BA عند التلامس مع الرقاقة ولا يشارك في التفاعل العملي. تعتبر الخشونة السطحية داخل الأنبوب معيارًا لقياس جودة الأنابيب. كلما كانت الخشونة أقل، تقل إمكانية حمل الجسيمات بشكل كبير.
يمكن لأنابيب النيتروجين النظيفة أن تمتص حوالي 200 جرام من الغاز لكل طن أثناء مادة صهر الفولاذ المقاوم للصدأ. يتم معالجة الفولاذ المقاوم للصدأ، وليس فقط السطح يلتصق به، ولكن أيضًا كمية معينة من الغاز تتأثر بشبكته المعدنية. عندما يكون هناك تدفق هواء في الأنابيب، يعود هذا الجزء من الغاز الموجود في المعدن إلى التدفق الهوائي، ويُلوث الغاز النقي. عندما يكون التدفق التفاعلي في الأنبوب ليس تدفقًا مستمرًا.
عندما يتم امتصاص الغاز تحت الضغط بواسطة الأنبوب، يتم امتصاص الغاز، ثم يتوقف الغاز، ويتم تكوين تحليل تدريجي للغاز الممتص بواسطة الأنبوب، ويُستخدم الغاز المُحلل أيضًا كشوائب في الغاز النقي داخل الأنبوب. وفي الوقت نفسه، أثناء الامتصاص والتحليل، ينتج عن ذلك مسحوق معين على سطح الأنبوب، وهو أيضًا غاز نقي داخل الأنبوب. هذه الخاصية للأنبوب الناقل للغاز النقي تعتبر حاسمة لضمان نقاء الغاز المُنقل، حيث لا يتطلب فقط سطح داخلي أملس للغاية، بل أيضًا خصائص مقاومة للتآكل.

عندما يكون الغاز قوي التآكل، من الضروري استخدام أنبوب فولاذي صلب مقاوم للتآكل. وإلا فإن الأنبوب المستخدم في خط الغاز النقي سيولد بقع تآكل بسبب التآكل، وسيحدث تقشير معدني كبير أو حتى ثقوب، مما يؤدي إلى تلوث الغاز النقي بالغاز.