مقدمة لإمدادات الهواء في خط أنابيب النيتروجين النظيف
مطلوب تسليم جميع النقاء العالي والنقاء العالي في أنبوب النيتروجين النظيف إلى الجهاز (POU) عبر خط الأنابيب. من أجل تحقيق متطلبات الجودة للأداة، في حالة مؤشرات مخرج الغاز، من الضروري إيلاء المزيد من الاهتمام لنظام الأنابيب واختيار المواد وجودة البناء. بالإضافة إلى دقة معدات الغاز أو التنقية، فإنها تتأثر إلى حد كبير بالعديد من عوامل نظام خطوط الأنابيب. لذلك، يجب أن يلتزم اختيار الأنابيب بمبادئ الصناعة ذات الصلة، وأن يشير إلى مادة خط الأنابيب.
يتم اختيار مادة خط أنابيب النيتروجين النظيف وفقًا لاحتياجات الاستخدام، ويتم استخدام 316L BA بشكل شائع عند الاتصال بالرقاقة ولكن لا يشارك في العملية التفاعلية. تعتبر خشونة السطح في الأنبوب معيارًا لقياس جودة الأنبوب. كلما انخفضت الخشونة، تقل احتمالات حمل الجسيمات بشكل كبير.
يمكن لأنابيب النيتروجين النظيفة أن تمتص حوالي 200 جرام من الغاز لكل طن أثناء صهر مادة الفولاذ المقاوم للصدأ. تتم معالجة الفولاذ المقاوم للصدأ، وليس فقط السطح لاصقًا، ولكن أيضًا تتأثر كمية معينة من الغاز أيضًا في شبكته المعدنية. عندما يكون هناك تدفق هواء في خط الأنابيب، فإن هذا الجزء من الغاز الموجود في المعدن سوف يدخل مرة أخرى إلى تدفق الهواء، ويلوث الغاز النقي. عندما لا يكون التدفق الانقباضي للأنبوب تدفقًا مستمرًا.
عندما يتم امتصاص الأنبوب تحت الضغط، يتم امتصاص الغاز، ويتم إيقاف الغاز، ويشكل الغاز الممتص بواسطة الأنبوب تحليلًا متدرجًا، ويستخدم الغاز المحلل أيضًا كشوائب في الغاز النقي في الأنبوب. في نفس الوقت، يتم تحليل الامتزاز، بحيث ينتج سطح الأنبوب أيضًا مسحوقًا معينًا، وهو أيضًا غاز منقى في الأنبوب. تعتبر هذه الميزة لخط أنابيب الغاز النظيف أمرًا بالغ الأهمية، من أجل ضمان نقاء الغاز المسلم، ولا تتطلب فقط نعومة عالية جدًا للسطح الداخلي، ولكن أيضًا خصائص مقاومة عالية للتآكل.
عندما يكون الغاز قويا في التآكل، فمن الضروري استخدام أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ المقاومة للتآكل. خلاف ذلك، فإن أنبوب خط الغاز النظيف سوف يولد بقع تآكل بسبب التآكل، وسوف يكون هناك تجريد كبير للمعادن أو حتى ثقب، وبالتالي تلوث الغاز النقي بالغاز النقي.