مقدمة ربط أنابيب الغاز في مصنع شبه الموصلات

يُمكّن الاتصال (Hook up) الجهاز من تحقيق الوظيفة المطلوبة عن طريق الربط لنقل الخدمات. الاتصال هو ربط الخدمات (مثل الماء، الكهرباء، الغاز، المواد الكيميائية، إلخ) التي تقدمها المصنع بالجهاز وملحقاته من خلال نقطة الاتصال المخصصة للخدمات (منفذ أو عصا) عبر الأنابيب والكابلات.

تستخدم هذه الخدمات بواسطة الجهاز لتلبية المتطلبات العملية المحددة. بعد استخدام الجهاز، يتم ربط المياه القابلة لإعادة التدوير أو النفايات (مثل مياه الصرف، غازات الصرف، إلخ) التي ينتجها الجهاز بنقطة الاتصال المحفوظة في النظام عبر الأنابيب، ثم يتم نقلها إلى نظام استرداد المصنع أو نظام معالجة غازات الصرف. يتضمن مشروع الاتصال بشكل أساسي: CAD، الانتقال، الحفر الأساسي، الزلازل، الشفط، الغاز، المواد الكيميائية D.I، PCW، CW، التوصيل السريع، الكهرباء، الصرف.

GAS HOOK-UP فهم أساسي للمعرفة المهنية

في مصانع شرائح السيليكون، يُطلق على توصيل خط أنابيب الغاز "sp1hook up" فيما يتعلق بالغازات العامة (مثل الغازات مثل CDA، GN2، pN2، PO2، Phe، par، H2، وما إلى ذلك). ويُقصد بذلك النقطة التي يتم فيها أخذ الغاز من خزان التخزين حتى الأنابيب الرئيسية والفرعية. ويُطلق على هذا الجزء "sp1hook up"، وهو يمتد من نقطة أخذ الغاز إلى نقطة دخول الجهاز أو المعدات، ويُسمى هذا الترتيب الثانوي (sp2hook up).

بالنسبة للغازات الخاصة (مثل الغازات الكيميائية، السامة، القابلة للاشتعال، غاز التسخين، وما إلى ذلك)، فإن مصدر إمداد الغاز هو gascabinet. يبدأ التوصيل من نقطة خروج g/c إلى النقطة الأساسية الأولى لـ VMB (علبة الصمام الرئيسية) أو VMP (لوحة الصمام الرئيسية)، ويُطلق عليها sp1hook up، أما من النقطة الثانوية لـ VMB أو VMP وحتى نقطة دخول الجهاز، فيُطلق عليها sp2 hook.