متطلبات النظام لعمليات تحضير الغاز المتخصصة الإلكترونية!

تتضمن عملية إنتاج الغازات المتخصصة الإلكترونية عدة عمليات مثل التخليق والتنقية والتعبئة والتحليل والاختبار والخلط والتناسب. من أجل تلبية متطلبات تصنيع أشباه الموصلات النهائية لمحتوى النقاء والشوائب، فإن عملية التنقية مهمة جدًا. اعتمادًا على تركيبة الغاز الاصطناعي أو الغاز الخام، يتم إجراء التقطير بدرجة حرارة منخفضة أو تنقية متعددة المراحل.

متطلبات النظافة العالية

يمكن تقسيم عملية تحضير الغازات الإلكترونية الخاصة إلى كتلتين رئيسيتين من تحضير وتنقية التوليف الأولي، والتي تنتمي إلى عملية الإنتاج الكيميائي. حجم خط أنابيب الإنتاج كبير، وليس هناك متطلبات خاصة لمستوى النظافة. بعد التنقية النهائية، يتم تعبئة المنتج بالغاز وخلطه للتحضير. خط أنابيب الإنتاج صغير وله متطلبات مستوى النظافة. يجب أن يفي بالمواصفات القياسية لعملية تصنيع أشباه الموصلات.

متطلبات الختم العالية

ونظرًا لنشاطها الكيميائي، فإن الغازات الإلكترونية المتخصصة تفرض أيضًا متطلبات عالية على المواد وختم نظام عملية الإنتاج. تمامًا مثل متطلبات تصنيع أشباه الموصلات، فإنه يمنع تسرب الواجهة الناتج عن إدخال الشوائب أو تآكل الغازات الخاصة. يمكن أيضًا استخدام النظام لمنع إدخال الشوائب أو تسرب الواجهة الناتج عن تآكل الغازات الخاصة.

متطلبات الاستقرار عالية الجودة

تشتمل جودة الغازات الإلكترونية المتخصصة على عدد من المؤشرات مثل النقاء ومحتوى الجزيئات من الشوائب. وأي تغيير في المؤشرات سيؤثر على نتائج عملية تصنيع أشباه الموصلات النهائية. ولذلك، من أجل ضمان اتساق المؤشرات الإلكترونية الخاصة بمنتجات الغاز، فإن نظام عملية التحضير للتحكم في استقرار المؤشرات مهم جدًا أيضًا.

تطبيق أنظمة عملية تحضير الغاز المتخصصة

نظرًا للنشاط الكيميائي ومتطلبات الجودة للجنيه المصري، يجب أن يلبي نظام الإنتاج لإعداد الجنيه المصري، وخاصة نظام التنقية النهائي، متطلبات المواد عالية النقاء، والختم العالي، والنظافة العالية والاتساق عالي الجودة، ويجب أن يكون بناء المكونات الهندسية تلبية معايير صناعة تصنيع أشباه الموصلات.

ما نشير إليه عادة باسم "النقاء العالي" هو من الناحية النظرية تعريف نقاء المادة، مثل الغازات عالية النقاء والمواد الكيميائية عالية النقاء وما إلى ذلك. ويشار أيضًا إلى أنظمة المعالجة أو مكونات نظام المعالجة التي يتم تطبيقها على المواد عالية النقاء إلى عالية النقاء، مثل الأنظمة عالية النقاء والصمامات عالية النقاء. تتطلب أنظمة تحضير الغاز المتخصصة الإلكترونية تجهيزات تطبيقية عالية النقاء، وصمامات، ومكونات سائلة أخرى، مثل التركيبات والصمامات التي تتم معالجتها بمواد عالية النقاء وعمليات تصنيع نظيفة، ويتم تصميمها بحيث يسهل عملية التطهير والتنظيف. مع أداء الختم العالي. تم تصميم مكونات السوائل هذه لتلبية مسار تدفق العملية للتطبيق، وذلك باستخدام المتطلبات الهندسية والبناءية لصناعة أشباه الموصلات.

وصلات الأنابيب عالية النقاء

يتم استخدام وصلات ختم الوجه ذات الحشية المعدنية VCR ووصلات اللحام التناكبي الأوتوماتيكية على نطاق واسع في متطلبات عملية نقاء نظام السوائل نظرًا لقدرتها على تلبية كل من الانتقال السلس لمسار التدفق عند الاتصال، وعدم وجود منطقة ركود، وأداء الختم العالي. تشكل ختمًا سطحيًا ضيقًا عن طريق بثق حشية معدنية ناعمة نسبيًا. يتم ضمان أداء الاتصال والختم المتكرر والمتسق في كل مرة تتم فيها إزالة الحشية المشوهة واستبدالها.

يتم لحام الأنابيب باستخدام نظام اللحام المداري الأوتوماتيكي. الأنبوب محمي بغاز عالي النقاء من الداخل والخارج. يدور قطب التنغستن على طول المدار للحصول على لحام عالي الجودة. يعمل اللحام المداري الآلي بالكامل على إذابة الأنبوب دون إدخال مواد أخرى، ومن الصعب تحقيق لحام عالي الجودة من خلال التحكم المتكرر في الأنابيب ذات الجدران الرقيقة باستخدام اللحام اليدوي.

وصلة ختم الوجه بحشية معدنية VCR

اتصال اللحام التناكبي المداري التلقائي للأنابيب

صمامات عالية النقاء

إن النشاط الكيميائي للغازات الإلكترونية المتخصصة القابلة للاشتعال والانفجار والتآكل والسامة يضع متطلبات عالية على إغلاق الصمام. من أجل تحسين موثوقية الختم، فإن متطلبات الصمامات غير المعبأة لمنع التسرب الخارجي، أي تبديل تشغيل ساق الصمام وجسم الصمام بين الختم باستخدام منفاخ معدني أو غشاء معدني، من أجل القضاء على التسرب بسبب التآكل و تشوه ختم التعبئة. تُستخدم الصمامات المختومة بالمنفاخ والمختومة بغشاء بشكل شائع في أنظمة المعالجة للتطبيقات عالية النقاء بسبب الموثوقية الأكبر للأختام وسهولة التنظيف والتطهير لاستبدال الأجزاء الداخلية للصمام.

الصمامات المختومة بالمنفاخ عبارة عن بناء صمام إبرة بدون تعبئة يسمح بالفتح البطيء وتنظيم التدفق. يستخدم لتعبئة الغاز الإلكتروني المتخصص مع متطلبات تدفق السلامة أو في زجاجات المصدر الأولية ذات متطلبات السلامة العالية. تسمح موانع التسرب ذات الأطراف الجذعية المعدنية بالكامل بدرجات حرارة تشغيل منخفضة للغاية وتستخدم للتسييل المبرد للغازات الإلكترونية المتخصصة في خزانات المنتج النهائي بعد التقطير المبرد للأنابيب.

صمام ختم الحجاب الحاجز Springless عبارة عن صمام مفتوح بقطر 1/4 بوصة للاستخدام كصمام تحويل يتم التحكم فيه تلقائيًا في أنابيب التوصيل. وهي تستخدم بشكل شائع في التطبيقات ذات الضغط العالي للغاية وعالية النقاء نظرًا لمسار تدفقها الداخلي البسيط، وصغر حجمها الحجم الداخلي وسهولة التطهير والاستبدال.

يمكن للصمامات المغلقة بغشاء والتي تغلق عبر طرف الجذع أن تفتح ببطء ويمكن استخدامها عند ضغوط تشغيل أعلى من الصمامات غير المغلقة بغشاء نوابض. يتم استخدامها على نطاق واسع في تعبئة الغاز الإلكتروني عالي الضغط أو زجاجات مصدر السلائف.

لا يمكن استخدام صمام منفاخ الختم الثانوي في أنظمة المعالجة ذات درجات الحرارة المنخفضة للغاية عند -200 درجة فحسب، بل يمنع أيضًا تسرب الوسائط الخطرة إلى الغلاف الجوي. يستخدم عادةً للغازات الإلكترونية الخاصة شديدة الخطورة، مثل نظام تعبئة السيلان.

Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd، مع أكثر من 10 سنوات من الخبرة في توريد الغازات الصناعية والمتخصصة، والمواد، وأنظمة إمداد الغاز وهندسة الغاز لأسواق أشباه الموصلات، وLED، وDRAM، وTFT-LCD، يمكننا أن نقدم لك المواد اللازمة لدفع منتجاتك إلى طليعة الصناعة. لا يمكننا فقط توفير مجموعة واسعة من الصمامات والتجهيزات للغازات الإلكترونية المتخصصة شبه الموصلة، ولكن يمكننا أيضًا تصميم أنابيب الغاز وتركيب المعدات لعملائنا. إذا كان لديك أي احتياجات في هذا المجال، يرجى الاتصال بنا على 27919860.