Einführung der Rein-Nitrogen-Rohrleitungsluftversorgung

Alle Hochreinheit, highpurity im sauberen Stickstoffrohr muss über das Rohrsystem an das Gerät (POU) geliefert werden. Um die Qualitätsanforderungen des Geräts zu erfüllen, ist es notwendig, bei der Gasabgabe auf das Rohrsystem, die Materialauswahl und die Bauqualität zu achten. Neben der Genauigkeit des Gases oder der Reinigungsausrüstung wird es stark von vielen Faktoren des Rohrsystems beeinflusst. Daher sollte die Auswahl der Rohre den relevanten Branchenprinzipien folgen und das Rohrmaterial angeben.

Das Material des sauberen Stickstoffrohres wird je nach Nutzung ausgewählt, und 316L BA wird häufig verwendet, wenn es mit dem Chip in Kontakt kommt, aber nicht am prozessreaktiven Teil beteiligt ist. Die Oberflächenrauheit im Rohr ist ein Maßstab für die Qualität des Rohrs. Je niedriger die Rauheit, desto geringer ist die Möglichkeit von Partikeltransport.

Saubere Stickstoffleitungen können während des Edelstahl-Schmelzmaterials etwa 200 g Gas pro Tonne aufnehmen. Beim Verarbeiten des Edelstahls klebt das Gas nicht nur an der Oberfläche, sondern eine bestimmte Menge von Gas dringt auch in sein Metallgitter ein. Wenn in der Leitung Luftfluss stattfindet, kehrt dieser Teil des Gases, der sich im Metall befindet, in den Luftfluss zurück und verschmutzt den reinen Gasstrom. Wenn der interaktive Fluss in der Röhre kein kontinuierlicher Fluss ist.

Wenn das Rohr unter Druck adsorbiert wird, wird das Gas adsorbiert, das Gas wird gestoppt, und das vom Rohr adsorbierte Gas hat eine Schritt-analyse gebildet, und das analysierte Gas wird auch als Verunreinigungen in das reine Gas im Rohr aufgenommen. Gleichzeitig erfolgt Adsorption und Analyse, so dass die Oberfläche des Rohres auch einen bestimmten Pulverstoff produziert, der ebenfalls ein gereinigtes Gas im Rohr ist. Diese Eigenschaft eines sauberen Gasrohrs ist entscheidend, um die Reinheit des übermittelten Gases sicherzustellen, was nicht nur eine sehr hohe Glätte der Inneren Oberfläche erfordert, sondern auch hohe verschleißfestige Charakteristiken.

Wenn das Gas stark korrosiv ist, muss ein korrosionsbeständiges Edelstahlrohr verwendet werden. Andernfalls kann das Rohr des sauberen Gasrohres aufgrund von Korrosion Korrosionsflecken erzeugen, es können große Metallablagerungen oder sogar Durchbrüche entstehen, wodurch das reine Gas verunreinigt wird.