バルクガス供給システム 日本

バルクガス配送システムは、大量のガスを保管、輸送、および利用するために設計された特殊なシステムです。主にガス供給システムとパイプラインシステムで構成されています。ガス供給システムは、ガスの品質と安定性を確保するためのガス源、精製システム、品質監視メカニズムなどのコンポーネントで構成されています。一方、配送パイプラインは、ガス輸送中の流量と圧力変化を制御するための特定の要件に従って設計されており、安全で効率的な配送を保証します。

このシステムは、ガス需要の高い産業を中心に、さまざまな分野で広く使用されています。超大規模集積回路の大規模製造施設では、バルクガス供給システムが、厳しいプロセス要件を満たすSiH4、N2O、C2F6などのさまざまな特殊ガスを安定的に供給します。また、太陽電池製造ライン、LEDエピタキシャル成長プロセス、LCDディスプレイ製造、光ファイバーやシリコン材料のエピタキシャル製造ラインでも重要な役割を果たしています。

これらの用途では、バルクガス供給システムは生産効率を向上させ、コストを削減するだけでなく、安定性と安全性も確保します。さらに、ガス純度に関する厳しい要件を満たしているため、製品の品質と生産の安全性が保証されます。

マイクロエレクトロニクス産業の継続的な発展に伴い、超クリーンガスの需要が高まり、バルクガス供給システムの清浄度と安定性に対する要件が高まっています。そのため、このシステムの研究開発は、変化する市場の需要を満たすために絶えず進歩し、改善されています。

全体として、バルクガス供給システムは、その効率性、安定性、安全性により、工業生産、エネルギー開発、科学研究などの分野でますます重要な役割を果たしています。

バルクガス配送システムの応用事例の具体例をいくつか紹介します。

1. セメント工場の戻り灰の空気輸送： セメント工場では、圧縮ガスを動力源として返送灰を空気圧ポンプと輸送パイプラインを通じて指定のセメント返送灰受容器に輸送する高濃度空気輸送システムを採用しています。このシステムでは、灰は密閉されたパイプライン内で完全に輸送されるため、粉塵の放出や漏洩ポイントがなく、安全でクリーンな生産環境が確保されます。同時に、PLC自動プログラミングとマイクロコンピュータ制御システムにより、完全に自動化された操作と制御が実現され、生産効率と安全性が大幅に向上します。

2. 半導体製造: 半導体製造プロセスでは、ガスの純度と供給安定性に対する要求が極めて高いため、多くの半導体メーカーはバルクガス供給システムを採用して、窒素、酸素、水素などの微細バルクガスを供給しています。これらのシステムは、超高圧ガス輸送技術を使用してガスの純度と安定性を確保し、チップ製造の品質と完全性を保証します。

3. 医療機器の付加製造： 医療機器の製造では、積層造形（AM）がますます多く使用されています。PBF プロセスでは、適切な量の超高圧窒素またはアルゴンを使用することで、構造の完全性を向上させることができます。そのため、バルクガス供給システムも使用され、医療機器の積層造形に高品質のガスを供給し、製造された医療機器の品質と性能を確保しています。

これらの応用例は、バルクガス供給システムのさまざまな分野における応用のほんの一部に過ぎません。実際には、その適用範囲ははるかに広範囲です。技術の進歩と業界の発展に伴い、バルクガス供給システムは、より多くの業界に効率的で安定したガス供給ソリューションを提供し続けます。