半導体工場ガス配管の接続導入

フックアップは、送電ユーティリティに接続することにより、機械が所望の機能を達成できるようにします。フックアップとは、工場が提供するユーティリティ（水、電気、ガス、化学物質など）を、予備のユーティリティ接続点（ポートまたはスティック）を通じてパイプラインやケーブルで機械とそのアクセサリーに接続することです。

これらのユーティリティは、機械が支払われたプロセス要件を満たすために使用されます。機械を使用した後、機械によって生成された再利用可能な水や廃棄物（廃水、廃ガスなど）は、パイプラインを通じてシステムの予備の接触点に接続され、その後、工場の回収システムまたは廃ガス処理システムに伝達されます。フックアッププロジェクトには主に次が含まれます：CAD、移入、コアドリル、地震、真空、ガス、化学D.I、PCW、CW、エクスプレス、電気、排水

GAS HOOK-UP 専門知識の基本的な理解

半導体工場では、ガス配管のいわゆる接続を「sp1hook up」と呼びます。これはバックガス（CDA、GN2、pN2、PO2、Phe、par、H2 などの一般的なガス）に関してです。供給源であるガス貯蔵タンクの出口点からメインパイピングを通じてサブメインパイピングへの取付け点も「sp1hook up」と呼ばれ、それは取付け出口点から機械（ツール）や設備の入口点まで二次構成（sp2hook up）と呼ばれます。

特殊ガス（腐食性、毒性、可燃性、加熱ガスなどの特殊ガス）の場合、そのガス供給源はガスキャビネットです。g/c 出口点から VMB（バルブメインボックス）または VMP（バルブメインパネル）の一次入口点までの部分を sp1hook up と呼び、VMB または VMP の二次出口点から機械の入口点に至る部分を sp2 hook と呼びます。