半導体工場ガスパイプライン接続導入 日本

フックアップにより、伝送ユーティリティに接続することで、マシンが目的の機能を実現できるようになります。フックアップとは、工場から提供されるユーティリティ (水、電気、ガス、化学薬品など) を、パイプライン ケーブルを介して予約されたユーティリティ接続ポイント (ポートまたはスティック) からマシンとそのアクセサリに接続することです。

これらのユーティリティは、機械が支払われるプロセス要件を満たすために使用されます。機械が使用された後、機械によって生成されたリサイクル可能な水または廃棄物（廃水、廃ガスなど）は、パイプラインを介してシステムの予約接点に接続され、その後、プラント回収システムまたは廃ガス処理システムに送信されます。接続プロジェクトには主に、CAD、移動、コアドリル、地震、真空、ガス、化学DI、PCW、CW、エクスプレス、電気、排水が含まれます。

ガス接続 専門知識の基礎理解

半導体工場において、いわゆるガス配管のフックアップは、バックガス（CDA、GN1、pN2、PO2、Phe、par、H2などの一般的なガス）の観点から「sp2hook up」と呼ばれ、ガス供給源のガス貯蔵タンクの出口点から主配管を経て副主配管に至るテイクオフポイントを「sp1hook up」と呼び、テイクオフ出口点から機械（工具）または装置の入口点に至る構成を「sp2hook up」と呼びます。

特殊ガス（腐食性、毒性、可燃性、加熱ガスなどの特殊ガス）の場合、そのガス供給源はガスキャビネットです。ガスキャビネットの出口点から VMB（バルブメインボックス）または VMP（バルブメインパネル）のプライマリ入口点までを sp1 フックアップと呼び、VMB または VMP スティックのセカンダリ出口点から機械入口点までを sp2 フックと呼びます。