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超高純度ガス減圧弁

Aug.10.2023

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高純度ガスレギュレーターにおける高流量と低流量の違い:

高流量レギュレータは通常、リットル毎分 (L/min) や立方メートル毎時 (m³/h) などの高いガス流量を処理するために設計されています。一方、低流量レギュレータはミリリットル毎分 (mL/min) やリットル毎時 (L/h) などの低いガス流量範囲に対応しています。

超高純度ガス用圧力レギュレータバルブの設計:

バルブ設計: 高流量レギュレータは、大きなガス流量に対応するために、通常、より大きなバルブやパスを使用します。これらのバルブには、正確な流量制御を実現するために、より大きなピストン、ダイアフラム、またはその他の流体制御要素が必要となる場合があります。一方、低流量レギュレータは、低い流量要件に対応するために、小さなバルブやパスを使用します。

超高純度ガス圧力レギュレータの圧力範囲:

高流量レギュレータは通常、より広い圧力範囲を持ち、高い入力圧力を処理して低い出力圧力に減圧できます。低流量レギュレータは、比較的狭い圧力範囲で低い入力圧力を扱い、より小さい出力圧力範囲を実現します。

超高純度ガス圧力レギュレータの外寸:

高流量レギュレータは大流量のガスを処理する必要があるため、流体力学に対応するために通常はより大きな外形寸法と重量があります。一方で、小流量レギュレータはスペースが限られた環境や携帯用途向けに、よりコンパクトで軽量化されています。

超高純度ガス圧力レギュレータの適用分野:

高流量レギュレータは、工業プロセス制御や大型ラボ機器など、ガス供給の高い流量が必要なアプリケーションで一般的に使用されます。低流量レギュレータは、ラボ用アナライザーや科学研究など、低い流量とより精密な制御が必要なアプリケーションで使用されます。

超高純度ガス圧力レギュレータの動作原理:

高純度ガス圧力低減装置は通常、調整可能なバルブと圧力センサを使用します。高圧ガスが圧力低減装置に入ると、バルブは自動的にスイッチを調整し、設定された圧力値に基づいて圧力を所望の出力圧力まで低下させます。


全体的に、高純度ガス圧力低減装置は、半導体製造、光電子、太陽電池産業、ナノテクノロジー、ラボ研究などの分野で広く使用され、これらの分野では高純度ガスが必要です。これらは、特定のプロセスや実験要件を満たすためにガス圧力と流量を制御するために使用されます。