대용량 가스 공급 시스템

대용량 가스 공급 시스템은 대량의 가스를 저장, 운반 및 활용하기 위해 설계된 전문 시스템입니다. 이는 주로 가스 공급 시스템과 파이프라인 시스템으로 구성됩니다. 가스 공급 시스템은 가스 품질과 안정성을 보장하기 위한 가스 원천, 정제 시스템, 품질 모니터링 장치 등으로 구성됩니다. 한편, 배송 파이프라인은 가스 운송 중 유량과 압력 변화를 제어하기 위해 특정 요구 사항에 따라 설계되며, 안전하고 효율적인 배달을 보장합니다.

이 시스템은 특히 고가스 수요 산업에서 널리 사용되고 있는 다양한 분야에 적용됩니다. 초대규모 통합 회로의 대형 제조 시설에서 대용량 가스 공급 시스템은 SiH4, N2O, C2F6 등의 다양한 특수 가스를 안정적으로 공급하며 엄격한 공정 요구 사항을 충족시킵니다. 또한 태양전지 생산 라인, LED 에피태크시 성장 공정, LCD 디스플레이 제조, 광섬유 및 실리콘 재료 에피테이크시 생산 라인에서도 중요한 역할을 합니다.

이러한 응용 분야에서 대용량 가스 공급 시스템은 생산 효율성을 향상시키고 비용을 절감하는 데 기여할 뿐만 아니라 안정성과 안전성을 보장합니다. 또한 가스 순도에 대한 엄격한 요구 사항을 충족하여 제품 품질과 생산 안전성을 확보합니다.

마이크로일렉트로닉스 산업의 지속적인 발전에 따라 초청정 가스에 대한 수요가 증가하고 있으며, 이는 대용량 가스 공급 시스템의 청정도와 안정성에 대해 더 높은 요구를 제기하고 있습니다. 따라서 이 시스템의 연구 개발은 변화하는 시장 수요를 충족하기 위해 끊임없이 진행되고 개선되고 있습니다.

전반적으로 대용량 가스 공급 시스템은 효율적이고 안정적이며 안전한 특성으로 인해 산업 생산, 에너지 개발, 과학 연구 등 다양한 분야에서 점차 중요한 역할을 하고 있습니다.

다음은 대용량 가스 공급 시스템의 적용 사례에 대한 몇 가지 구체적인 예입니다:

1. 시멘트 공장 재활용 회수재의 기계식 운송: 시멘트 공장에서 밀상 유동 방식의 기체 운송 시스템을 채택했습니다. 이 시스템은 압축 가스를 동력원으로 사용하여 회수된 재灰를 공기 펌프와 운반 파이프라인을 통해 지정된 시멘트 재灰 수신 탱크로 운반합니다. 이 시스템은 전체적으로 밀폐된 파이프라인 내에서 재灰를 운반하며, 어떤 분진 배출이나 누출 지점도 없어 안전하고 깨끗한 생산 환경을 보장합니다. 동시에 시스템은 PLC 자동 프로그래밍 및 마이크로컴퓨터 제어 시스템을 통해 완전히 자동화된 운영과 제어를 실현하여 생산 효율성과 안전성을 크게 향상시켰습니다.

2. 반도체 제조: 반도체 생산 공정에서는 가스 순도와 공급 안정성에 대해 매우 높은 요구 사항이 있습니다. 따라서 많은 반도체 제조업체는 질소, 산소 및 수소와 같은 미세 대량 가스를 공급하기 위해 대용량 가스 전달 시스템을 채택합니다. 이러한 시스템은 가스 순도와 안정성을 보장하기 위해 초고압 가스 운송 기술을 사용하여 칩 생산의 품질과 완전성을 확보합니다.

3. 의료기기 적층 제조: 적층 제조(AM)는 의료기기 생산에서 점점 더 많이 사용되고 있습니다. PBF 공정에서 적절한 양의 초고압 질소 또는 아르곤을 사용하면 구조적 안정성이 향상됩니다. 따라서 대용량 가스 전달 시스템은 의료기기의 적층 제조에 고품질의 가스 공급을 제공하는 데에도 사용되며, 제조된 의료기기의 품질과 성능을 보장합니다.

이러한 응용 사례는 다양한 분야에서 대량 가스 공급 시스템이 적용되는 부분의 일부에 불과합니다. 실제로 그 적용 범위는 훨씬 더 넓습니다. 기술의 발전과 산업의 성장에 따라 대량 가스 공급 시스템은 더욱 많은 산업에 대해 효율적이고 안정적인 가스 공급 솔루션을 제공할 것입니다.