로컬 스크러버 배기 가스 처리 시스템
Local Scrubber 배기 가스 처리 시스템은 태양광 발전, 반도체 및 마이크로일렉트로닉스와 같은 산업에서 널리 사용되는 꼬리 가스 처리 장비입니다. 주로 이러한 산업에서 발생하는 과도한 유해 가스들을 처리하는데 사용되며, SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O 등을 포함하지만 이에 국한되지 않습니다. 이러한 가스들이 적절히 처리되지 않으면 환경과 인류 건강에 위해를 끼칠 수 있습니다.
로컬 스크러버 배기 가스 처리 시스템은 연소, 냉각, 물 세정과 같은 특정 처리 단계 및 방법을 통해 이러한 유해 가스의 배출을 효과적으로 줄입니다. 그 작동 원리는 배기 가스를 연소실로 유도하여 유기물 및 기타 연소 가능한 물질을 무해한 물질로 전환하는 것을 포함할 수 있습니다. 그런 후, 냉각기를 통과하여 냉각되어 이후의 물 세정 처리를 용이하게 합니다. 마지막으로, 배기 가스는 물 세정 타워에 진입하여 유해 물질이 수증기에서 흡수되고 물과 혼합되어 효과적으로 제거됩니다.
이 시스템의 목적은 배출 과정에서 예기치 않은 가스 누출, 국지적 축적 또는 상호 반응을 방지하여 덕트 막힘, 파이프라인 부식, 누출 및 화재 폭발과 같은 잠재적인 문제를 사전에 차단하는 것입니다. 처리된 가스는 이후 다른 처리 시스템으로 연결되어 2차 처리를 거치게 되며, 이는 후속 처리 시스템의 부하를 줄이고 특정 산업에서의 대기 오염 통제 및 배출 기준 요구사항을 충족합니다.
전반적으로 Local Scrubber 배출 가스 처리 시스템은 생산 안전 보장, 환경 보호 및 인류 건강 지키기에 있어 효율적이며 환경 친화적인 꼬리 가스 처리 솔루션입니다.
로컬 스크러버 배기 가스 처리 시스템은 다양한 산업 과정에서 발생하는 유해 가스를 효과적으로 처리하기 위해 화학적 및 물리적 원리를 결합하여 작동합니다. 그 적용 사례는 태양광 발전, 반도체, 마이크로전자와 같은 필연적으로 유해한 가스가 배출되는 산업에서 특히 다양하게 활용됩니다.
로컬 스크러버의 원리는 일련의 처리 단계를 통해 유해 가스를 포집하고 중화시키는 능력에 있습니다. 처음에는 배기 가스가 스크러버 장치로 유도되며, 여기서 특정 가스와 반응하도록 설계된 액체 혼합물인 스크러빙 용액과 접촉합니다. 가스가 스크러빙 용액을 통과할 때, 해로운 성분은 용액에 흡수되거나 화학적으로 반응하여 더 안전한 물질로 변환되거나 가스 스트림에서 제거됩니다.
스크러빙 용액의 선택은 특정 산업에서 배출되는 가스를 효과적으로 처리하도록 맞춤화되어야 하기 때문에 매우 중요합니다. 예를 들어, 태양광 발전 및 반도체 산업에서는 SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6와 같은 가스가 일반적으로 배출됩니다. 스크러빙 용액은 이러한 가스와 반응하여 그들의 유해한 영향을 중화시키도록 조제됩니다.
화학적 중화 외에도 로컬 스크러버는 폐기체를 더 정화하기 위해 냉각 및 필터링과 같은 물리적 과정을 사용할 수도 있습니다. 냉각은 특정 성분을 응축하고 제거하는 데 도움을 주며, 필터는 입자 물질을 잡아서 대기로 방출되는 것이 깨끗한 기체임을 보장합니다.
로컬 스크러버의 적용 범위는 매우 넓습니다. 이 장비는 고온 공정, 유독 화학물질 사용 또는 유해 부산물이 발생하는 산업에 특히 적합합니다. 태양광 발전 제조의 경우, 태양전지 생산 과정에서 위험한 가스가 사용되는 경우가 많습니다. 로컬 스크러버는 이러한 가스를 효과적으로 처리하여 환경으로 누출되지 않도록 합니다.
반도체 및 마이크로일렉트로닉스 제조 역시 로컬 스크러버의 주요 적용 분야입니다. 이러한 산업에서는 NF3, SF6 및 기타 불화물과 같은 환경에 해로울 뿐만 아니라 장비에도 잠재적으로 부식성이 있는 가스를 배출할 수 있습니다. 스크러버는 이러한 가스를 효과적으로 제거하여 작업자와 주변 환경을 보호합니다.
요약하면, Local Scrubber 배기 가스 처리 시스템은 화학적 및 물리적 원리를 모두 활용하여 산업 배기 가스에서 유해 가스를 중화하고 제거합니다. 태양광 발전, 반도체, 마이크로일렉트로닉스 등 다양한 산업에서의 적용 사례는 환경 안전을 보장하고 인류 건강을 보호하는 데 있어 그 중요성을 보여줍니다.