전자 특수 가스 준비 공정을 위한 시스템 요구 사항! 대한민국

전자 특수 가스의 생산 공정에는 합성, 정제, 충전, 분석 및 테스트, 혼합 및 분배와 같은 여러 공정이 포함됩니다. 순도 및 불순물 함량에 대한 다운스트림 반도체 제조 요구 사항을 충족하려면 정제 공정이 매우 중요합니다. 상류 합성가스 또는 원료가스의 조성에 따라 저온 증류 또는 다단계 정제가 수행됩니다.

높은 청결도 요구사항

전자특수가스의 제조 공정은 크게 업스트림 합성 제조 및 정제의 두 블록으로 나눌 수 있으며 이는 화학 생산 공정에 속합니다. 생산 파이프라인의 규모가 크고 특별한 청결도 수준 요구 사항이 없습니다. 다운스트림 정제 후 제품에 가스를 채우고 혼합하여 준비합니다. 생산 파이프라인은 규모가 작고 청결도 수준 요구 사항이 있습니다. 반도체 제조 공정의 표준 사양을 충족해야 합니다.

높은 밀봉 요구 사항

화학적 활성으로 인해 전자 특수 가스는 생산 공정 시스템의 재료 및 밀봉에 대한 요구도 높습니다. 반도체 제조 요구사항과 마찬가지로 불순물 유입이나 특수가스 부식으로 인한 인터페이스 누출을 방지합니다. 또한, 특수가스의 부식으로 인한 불순물 유입이나 계면 누출을 방지하는 데에도 사용할 수 있습니다.

고품질 안정성 요구 사항

전자 특수 가스의 품질에는 순도, 불순물 입자 함량 등 다양한 지표가 포함됩니다. 지표의 변화는 다운스트림 반도체 제조 프로세스의 결과에 영향을 미칩니다. 따라서 전자특수가스 제품 지표의 일관성을 확보하기 위해서는 지표의 안정성을 제어하는 ​​준비공정 시스템 또한 매우 중요하다.

특수 가스 준비 공정 시스템의 적용

EGP의 화학적 활성 및 품질 요구 사항으로 인해 EGP 준비를 위한 생산 시스템, 특히 하류 정제 시스템은 고순도 재료, ​​높은 밀봉, 높은 청결 및 고품질 일관성 요구 사항을 충족해야 하며 엔지니어링 구성 요소의 구성은 다음과 같습니다. 반도체 제조 산업의 표준을 충족합니다.

우리가 일반적으로 "고순도"라고 부르는 것은 이론적으로 고순도 가스, 고순도 화학 물질 등과 같은 물질의 순도에 대한 정의입니다. 고순도 물질에 적용되는 공정 시스템 또는 공정 시스템 구성 요소도 참조됩니다. 고순도 시스템, 고순도 밸브 등 고순도 제품을 생산합니다. 전자식 특수가스 준비 시스템은 고순도 응용 피팅, 밸브 및 기타 유체 부품, 즉 고순도 재료와 청정 제조 공정으로 처리된 피팅 및 밸브를 요구하며 퍼징 및 세척이 용이한 구조로 되어 있습니다. 높은 밀봉 성능. 이러한 유체 구성 요소는 반도체 산업의 엔지니어링 및 구성 요구 사항을 사용하여 응용 분야의 프로세스 흐름 경로를 충족하도록 설계되었습니다.

고순도 배관 연결

VCR 금속 개스킷 표면 밀봉 연결부 및 자동 가이드 맞대기 용접 연결부는 연결부 유동 경로의 원활한 전환, 정체 영역 없음 및 높은 밀봉 성능을 모두 충족할 수 있는 능력으로 인해 까다로운 유체 시스템 순도 공정 요구 사항에 널리 사용됩니다.VCR 연결부 상대적으로 부드러운 금속 개스킷을 압출하여 좁은 표면 씰을 형성합니다. 변형된 개스킷을 제거하고 교체할 때마다 반복 가능하고 일관된 연결 및 밀봉 성능이 보장됩니다.

튜브는 자동 궤도 용접 시스템을 사용하여 용접됩니다. 튜브는 내부와 외부가 고순도 가스로 보호됩니다. 텅스텐 전극은 고품질 용접을 위해 궤도를 따라 회전합니다. 완전 자동화된 오비탈 용접은 다른 재료를 투입하지 않고 파이프를 녹이기 때문에 얇은 파이프를 반복적으로 제어하여 고품질 용접을 달성하는 것은 수동 용접으로는 달성하기 어렵습니다.

VCR 금속 개스킷 페이스 씰 연결

파이프의 자동 궤도 맞대기 용접 연결

고순도 밸브

가연성, 폭발성, 부식성 및 독성 전자 특수 가스의 화학적 활성으로 인해 밸브 밀봉에 대한 요구가 높아집니다. 밀봉 신뢰성을 향상시키기 위해 외부 누출을 방지하는 패킹리스 밸브, 즉 마모로 인한 누출을 제거하기 위해 금속 벨로우즈 또는 금속 다이어프램을 사용하는 밀봉 사이에서 밸브 스템과 밸브 본체의 전환 작동이 요구됩니다. 패킹 씰 변형. 벨로우즈 밀봉 및 다이어프램 밀봉 밸브는 씰의 신뢰성이 높고 밸브 내부의 세척 및 퍼지 교체가 더 용이하기 때문에 고순도 응용 분야의 공정 시스템에 일반적으로 사용됩니다.

벨로우즈 밀봉 밸브는 느린 개방과 유량 조절이 가능한 패킹 없는 니들 밸브 구조입니다. 안전 흐름 요구 사항이 있는 전자 특수 가스 충전이나 높은 안전 요구 사항이 있는 전구체 소스 병에 사용됩니다. 전체 금속 스템 팁 씰은 매우 낮은 작동 온도를 허용하며 배관용 극저온 증류 후 완제품 탱크에서 전자 특수 가스의 극저온 액화에 사용됩니다.

스프링리스 다이어프램 씰 밸브는 공급 배관에서 자동 제어 전환 밸브로 사용하기 위한 1/4" 스냅오픈 밸브입니다. 내부 흐름 경로가 간단하고 크기가 작기 때문에 초고압, 고순도 응용 분야에 일반적으로 사용됩니다. 내부 용적, 퍼지 및 교체 용이성.

스템 팁을 통해 닫히는 다이어프램 밀봉 밸브는 천천히 열릴 수 있으며 스프링이 없는 다이어프램 밀봉 밸브보다 더 높은 작동 압력에서 사용할 수 있습니다. 이는 고압 전자 특수 가스 충전 또는 전구체 소스 병에 널리 사용됩니다.

보조 씰 벨로우즈 밸브는 -200도의 초저온 공정 시스템에서 사용할 수 있을 뿐만 아니라 유해 매체가 대기로 누출되는 것을 방지합니다. 일반적으로 실란 충전 시스템과 같은 매우 위험한 전자 특수 가스에 사용됩니다.

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