การใช้งานก๊าซพิเศษสำหรับการบำบัดก๊าซท้าย！

อุปกรณ์บำบัดก๊าซท้ายสามารถจัดการกับก๊าซที่ใช้ในกระบวนการแกะสลักและกระบวนการพอกไอน้ำเคมีในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ของเหลวผลึก และพลังงานแสงอาทิตย์ รวมถึง SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O และอื่นๆ

วิธีการบำบัดก๊าซเสีย

ตามลักษณะของการบำบัดก๊าซเสีย การบำบัดสามารถแบ่งออกเป็นสี่ประเภทของการบำบัด:

1. ประเภทล้างด้วยน้ำ (บำบัดก๊าซกัดกร่อน)

2. ประเภทออกซิเดชัน (จัดการกับก๊าซที่เผาไหม้ได้และเป็นพิษ)

3. การดูดซับ (ตามชนิดของวัสดุดูดซับเพื่อบำบัดก๊าซเสียที่เกี่ยวข้อง)

4. ประเภทการเผาพลาสมา (สามารถบำบัดก๊าซเสียทุกประเภท)

แต่ละประเภทของการบำบัดมีข้อดีข้อเสียและขอบเขตการใช้งานเป็นของตัวเอง เมื่อวิธีการบำบัดคือการล้างด้วยน้ำ อุปกรณ์จะถูกและง่ายต่อการใช้งาน และสามารถจัดการกับแก๊สที่ละลายในน้ำได้เท่านั้น; ขอบเขตการใช้งานของแบบการล้างด้วยน้ำไฟฟ้าสูงกว่าแบบล้างด้วยน้ำ แต่มีต้นทุนในการดำเนินงานสูง; แบบแห้งมีประสิทธิภาพการบำบัดที่ดี แต่ไม่เหมาะสำหรับกระแสแก๊สที่เกิดการอุดตันหรือไหลได้ง่าย

สารเคมีและการผลิตภัณฑ์ทางเคมีที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สามารถจัดหมวดหมู่ตามคุณสมบัติทางเคมีและความแตกต่างของขอบเขตการใช้งาน:

1. แก๊สที่เผาไหม้ได้ เช่น SiH4, H2 เป็นต้น

2. แก๊สพิษ เช่น AsH3, PH3 เป็นต้น

3. แก๊สกัดกร่อน เช่น HF, HCl เป็นต้น

4. แก๊สเรือนกระจก เช่น CF4, NF3 เป็นต้น

เนื่องจากก๊าซทั้งสี่ชนิดข้างต้นเป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมหรือร่างกายมนุษย์ จึงต้องป้องกันไม่ให้มีการปล่อยออกสู่ชั้นบรรยากาศโดยตรง โรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไปจะมีระบบบำบัดไอเสียแบบรวมขนาดใหญ่ติดตั้งอยู่ แต่ระบบดังกล่าวสามารถบำบัดไอเสียได้เพียงแค่การล้างด้วยน้ำ ดังนั้น การใช้งานจึงจำกัดเฉพาะก๊าซที่ละลายในน้ำและมีระยะทางไกลเท่านั้น และไม่สามารถจัดการกับไอเสียของกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่เปลี่ยนแปลงตลอดเวลาและมีการแบ่งแยกที่ละเอียดได้ ดังนั้น จำเป็นต้องเลือกและจับคู่อุปกรณ์บำบัดไอเสียที่เหมาะสมตามลักษณะของก๊าซที่เกิดจากแต่ละกระบวนการ เพื่อแก้ไขปัญหาเรื่องไอเสียในระดับเล็กๆ เนื่องจากพื้นที่ทำงานส่วนใหญ่อยู่ห่างจากระบบบำบัดไอเสียกลาง จึงมักเกิดการตกผลึกหรือสะสมของฝุ่นภายในท่อนำ ทำให้เกิดการอุดตัน ส่งผลให้เกิดการรั่วไหลของก๊าซ และในบางกรณีอาจเกิดการระเบิดได้ ซึ่งไม่สามารถรับประกันความปลอดภัยในการทำงานของเจ้าหน้าที่ในพื้นที่ได้ ดังนั้น ในพื้นที่ทำงานควรมีอุปกรณ์บำบัดไอเสียขนาดเล็กที่เหมาะสมกับลักษณะของก๊าซกระบวนการ เพื่อลดปริมาณไอเสียที่ค้างอยู่ในพื้นที่ทำงานและรับรองความปลอดภัยของบุคลากร