การใช้ก๊าซบำบัดก๊าซหางแบบพิเศษ！ ประเทศไทย

อุปกรณ์บำบัดก๊าซหางสามารถจัดการกับก๊าซที่ใช้ในกระบวนการกัดและกระบวนการสะสมไอสารเคมีในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ผลึกเหลว และพลังงานแสงอาทิตย์ รวมถึง SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6 , NH3, N2O และอื่นๆ

วิธีบำบัดก๊าซไอเสีย

ตามลักษณะของการบำบัดก๊าซไอเสีย การบำบัดสามารถแบ่งได้เป็น 4 ประเภท:

1. ประเภทล้างน้ำ (บำบัดก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน)

2. ประเภทออกซิไดซ์ (จัดการกับก๊าซที่ติดไฟได้และเป็นพิษ)

3. การดูดซับ (ตามประเภทของวัสดุดูดซับเพื่อจัดการกับก๊าซไอเสียที่สอดคล้องกัน)

4.ประเภทการเผาไหม้แบบพลาสม่า (สามารถบำบัดก๊าซไอเสียทุกประเภทได้)

การรักษาแต่ละประเภทมีข้อดีและข้อเสียรวมถึงขอบเขตการใช้งานที่แตกต่างกัน เมื่อวิธีการบำบัดคือการล้างด้วยน้ำ อุปกรณ์จะมีราคาถูกและเรียบง่าย และสามารถจัดการได้เฉพาะก๊าซที่ละลายน้ำได้เท่านั้น ช่วงการใช้งานของประเภทการล้างน้ำด้วยไฟฟ้านั้นสูงกว่าประเภทการล้างน้ำ แต่ค่าใช้จ่ายในการดำเนินการสูง แบบแห้งมีประสิทธิภาพการบำบัดที่ดี และไม่สามารถใช้กับการไหลของก๊าซที่อุดตันหรือไหลได้ง่าย

สารเคมีและผลิตภัณฑ์พลอยได้ที่ใช้กันทั่วไปในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์สามารถแบ่งตามคุณสมบัติทางเคมีและช่วงต่างๆ ได้:

1. ก๊าซไวไฟ เช่น SiH4H2 เป็นต้น

2. ก๊าซพิษ เช่น AsH3, PH3 เป็นต้น

3. ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน เช่น HF, HCl เป็นต้น

4. ก๊าซเรือนกระจก เช่น CF4, NF3 เป็นต้น

เนื่องจากก๊าซทั้ง 4 ชนิดนี้เป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมหรือร่างกายมนุษย์ จะต้องป้องกันการปล่อยออกสู่ชั้นบรรยากาศโดยตรง ดังนั้น โรงงานเซมิคอนดักเตอร์ทั่วไปจึงได้รับการติดตั้งระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบรวมศูนย์ขนาดใหญ่ แต่ระบบนี้เป็นเพียงระบบฟอกไอเสียเท่านั้น ดังนั้น การใช้งานจำกัดอยู่ที่ก๊าซที่ละลายน้ำได้ในระยะไกล และไม่สามารถจัดการกับการแบ่งส่วนก๊าซไอเสียของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่เปลี่ยนแปลงตลอดเวลาและละเอียดอ่อนได้ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องเลือกและจับคู่อุปกรณ์บำบัดก๊าซไอเสียที่เกี่ยวข้องตามคุณลักษณะของก๊าซที่ได้รับจากแต่ละกระบวนการ เพื่อแก้ไขปัญหาก๊าซไอเสียด้วยวิธีเล็กๆ น้อยๆ เนื่องจากพื้นที่ทำงานส่วนใหญ่อยู่ห่างจากระบบบำบัดไอเสียส่วนกลาง มักเกิดจากลักษณะของก๊าซทำให้เกิดการตกผลึกหรือฝุ่นสะสมในท่อทำให้เกิดการอุดตันของท่อทำให้เกิดแก๊สรั่ว และในกรณีร้ายแรงถึงขั้นเกิดการระเบิดได้ ไม่สามารถรับประกันความปลอดภัยในการทำงานของเจ้าหน้าที่ไซต์งานได้ ดังนั้นในพื้นที่ทำงานจำเป็นต้องกำหนดค่าอุปกรณ์บำบัดก๊าซไอเสียขนาดเล็กให้เหมาะสมกับลักษณะของก๊าซในกระบวนการ เพื่อลดก๊าซไอเสียที่นิ่งในพื้นที่ทำงาน เพื่อให้มั่นใจในความปลอดภัยของบุคลากร