บทนำเกี่ยวกับการจ่ายอากาศผ่านท่อไนโตรเจนสะอาด

ทุกความบริสุทธิ์สูง ไนโตรเจนความบริสุทธิ์สูงในท่อจำเป็นต้องถูกส่งไปยังเครื่องมือ (POU) ผ่านทางระบบท่อ เพื่อให้ได้คุณภาพตามที่เครื่องมือกำหนด ในกรณีที่มีตัวชี้วัดการปล่อยก๊าซ จะต้องใส่ใจระบบท่อ การเลือกวัสดุ และคุณภาพของการก่อสร้างมากขึ้น นอกจากความแม่นยำของก๊าซหรืออุปกรณ์การกรองแล้ว ยังได้รับผลกระทบจากหลายปัจจัยของระบบ.PIPE ดังนั้น การเลือกท่อควรมีหลักเกณฑ์ตามมาตรฐานอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้อง และระบุวัสดุของท่อ

วัสดุของท่อไนโตรเจนสะอาดจะถูกเลือกตามความต้องการในการใช้งาน โดยปกติจะใช้ 316L BA ซึ่งสัมผัสกับชิปแต่ไม่เข้าร่วมในปฏิกิริยากระบวนการ ความหยาบของผิวด้านในท่อเป็นเกณฑ์สำหรับการวัดคุณภาพของท่อ ยิ่งความหยาบน้อย โอกาสที่อนุภาคจะเกาะก็ลดลงอย่างมาก

ท่อไนโตรเจนที่สะอาดสามารถดูดซับก๊าซได้ประมาณ 200 กรัมต่อตันในระหว่างกระบวนการหลอมวัสดุสแตนเลส สแตนเลสถูกแปรรูปไม่เพียงแค่ผิวหน้าจะเกิดการยึดเกาะเท่านั้น แต่ยังมีก๊าซจำนวนหนึ่งที่ถูกดึงดูดเข้าไปในโครงสร้างโลหะของมันอีกด้วย เมื่อมีการเคลื่อนที่ของอากาศในท่อ ก๊าซส่วนนี้ที่อยู่ในโลหะจะกลับเข้าสู่กระแสอากาศ และทำให้ก๊าซบริสุทธิ์ถูกปนเปื้อน เมื่อกระแสในท่อไม่ได้ไหลต่อเนื่อง

เมื่อท่อถูกดูดซับภายใต้แรงดัน ก๊าซจะถูกดูดซับ เมื่อหยุดก๊าซ ก๊าซที่ถูกดูดซับโดยท่อจะสร้างการวิเคราะห์ลดระดับลง และก๊าซที่ถูกวิเคราะห์ยังถูกใช้เป็นสิ่งปนเปื้อนในก๊าซบริสุทธิ์ภายในท่อ ในขณะเดียวกัน การดูดซับและการวิเคราะห์ทำให้ผิวของท่อเกิดผงบางอย่างขึ้น ซึ่งก็เป็นก๊าซที่ได้รับการกรองแล้วในท่อเช่นกัน คุณลักษณะของท่อส่งก๊าซสะอาดนี้มีความสำคัญมาก เพื่อให้มั่นใจในความบริสุทธิ์ของก๊าซที่จ่ายออก ไม่เพียงแต่ต้องการความเรียบเนียนของผิวด้านในในระดับสูง แต่ยังต้องมีคุณสมบัติต้านทานการสึกหรอสูง

เมื่อก๊าซมีฤทธิ์กัดกร่อนสูง จะต้องใช้ท่อสแตนเลสที่ต้านทานการกัดกร่อน หากไม่ใช้ ท่อของระบบส่งก๊าซสะอาดจะเกิดจุดกัดกร่อนและอาจมีการลอกออกของโลหะจำนวนมาก หรือแม้กระทั่งเกิดรูทะลุ ซึ่งจะนำไปสู่การปนเปื้อนก๊าซบริสุทธิ์