ระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบขัดพื้นเฉพาะที่ ประเทศไทย

ระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบใช้เครื่องขัดพื้นแบบท้องถิ่นเป็นอุปกรณ์บำบัดก๊าซส่วนท้ายที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ เช่น เซลล์แสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ โดยหลักแล้วจะใช้เพื่อบำบัดก๊าซอันตรายส่วนเกินที่เกิดขึ้นในอุตสาหกรรมเหล่านี้ รวมถึงแต่ไม่จำกัดเพียง SiH4, SiH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O และอื่นๆ หากไม่บำบัดอย่างเหมาะสม ก๊าซเหล่านี้อาจเป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมและสุขภาพของมนุษย์

ระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบใช้เครื่องฟอกเฉพาะที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซที่เป็นอันตรายเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพผ่านขั้นตอนและวิธีการบำบัดเฉพาะ เช่น การเผาไหม้ การทำความเย็น และการขัดด้วยน้ำ หลักการทำงานของมันอาจจะเกี่ยวข้องกับการนำก๊าซไอเสียไปยังห้องเผาไหม้เพื่อการเผาไหม้ เปลี่ยนอินทรียวัตถุและสารที่ติดไฟได้อื่นๆ ให้เป็นสารที่ไม่เป็นอันตราย จากนั้นจะผ่านเครื่องทำความเย็นเพื่อระบายความร้อนเพื่ออำนวยความสะดวกในการขัดถูน้ำในภายหลัง ในที่สุด ก๊าซไอเสียจะเข้าสู่หอฟอกน้ำ ซึ่งสารอันตรายจะถูกดูดซับด้วยไอน้ำและผสมกับน้ำ จึงสามารถกำจัดออกได้อย่างมีประสิทธิภาพ

วัตถุประสงค์ของระบบนี้คือเพื่อป้องกันการรั่วไหลของก๊าซที่ไม่คาดคิด การสะสมในท้องถิ่น หรือปฏิกิริยาร่วมกันระหว่างกระบวนการไอเสีย ดังนั้นจึงหลีกเลี่ยงปัญหาที่อาจเกิดขึ้น เช่น การอุดตันของท่อ การกัดกร่อนของท่อ การรั่วไหล และการระเบิดของไฟไหม้ จากนั้นก๊าซที่ผ่านการบำบัดจะเชื่อมต่อกับระบบบำบัดอื่นๆ เพื่อการกำจัดขั้นที่สอง ซึ่งช่วยลดภาระในระบบบำบัดที่ตามมา และเป็นไปตามข้อกำหนดของมาตรฐานการควบคุมมลพิษทางอากาศและการปล่อยก๊าซเรือนกระจกในอุตสาหกรรมเฉพาะ

โดยรวมแล้ว ระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบใช้เครื่องฟอกเฉพาะที่เป็นระบบบำบัดก๊าซส่วนท้ายที่มีประสิทธิภาพและเป็นมิตรต่อสิ่งแวดล้อม ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการรับรองความปลอดภัยในการผลิต การปกป้องสิ่งแวดล้อม และการปกป้องสุขภาพของมนุษย์

ระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบ Scrubber เฉพาะที่ทำงานโดยใช้หลักการทางเคมีและกายภาพร่วมกัน เพื่อบำบัดก๊าซอันตรายที่เกิดขึ้นในกระบวนการทางอุตสาหกรรมต่างๆ ได้อย่างมีประสิทธิภาพ สถานการณ์การใช้งานมีความหลากหลาย โดยเฉพาะอย่างยิ่งในอุตสาหกรรมที่การปล่อยก๊าซอันตรายเป็นสิ่งที่หลีกเลี่ยงไม่ได้ เช่น แผงเซลล์แสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ และไมโครอิเล็กทรอนิกส์

หลักการเบื้องหลัง Local Scrubber อยู่ที่ความสามารถในการดักจับและทำให้ก๊าซที่เป็นอันตรายเป็นกลางผ่านขั้นตอนการบำบัดหลายขั้นตอน ในตอนแรก ก๊าซไอเสียจะถูกส่งเข้าไปในเครื่องดักจับก๊าซไอเสีย ซึ่งจะพบกับสารละลายสำหรับขัดถู ซึ่งโดยปกติจะเป็นส่วนผสมของเหลวที่ออกแบบมาเพื่อทำปฏิกิริยากับก๊าซเฉพาะที่มีอยู่ เมื่อก๊าซผ่านสารละลายสำหรับขัด ส่วนประกอบที่เป็นอันตรายจะถูกดูดซับหรือทำปฏิกิริยาทางเคมีกับสารละลาย เปลี่ยนให้เป็นสารที่ปลอดภัยยิ่งขึ้นหรือกำจัดออกจากกระแสแก๊ส

การเลือกใช้น้ำยาขัดถูเป็นสิ่งสำคัญ เนื่องจากต้องปรับแต่งให้เหมาะกับการบำบัดก๊าซเฉพาะที่ปล่อยออกมาจากอุตสาหกรรมอย่างมีประสิทธิภาพ ตัวอย่างเช่น ในอุตสาหกรรมเซลล์แสงอาทิตย์และเซมิคอนดักเตอร์ ก๊าซเช่น SiH4, SiH2Cl2, PH3 และ B2H6 มักถูกปล่อยออกมา น้ำยาขัดถูได้รับการออกแบบมาเพื่อทำปฏิกิริยากับก๊าซเหล่านี้ และทำให้ผลกระทบที่เป็นอันตรายเป็นกลาง

นอกเหนือจากการทำให้สารเคมีเป็นกลางแล้ว เครื่องฟอกเฉพาะที่ยังอาจใช้กระบวนการทางกายภาพ เช่น การทำความเย็นและการกรอง เพื่อทำให้ก๊าซไอเสียบริสุทธิ์ยิ่งขึ้น การระบายความร้อนช่วยในการควบแน่นและกำจัดส่วนประกอบบางอย่าง ในขณะที่ตัวกรองจะดักจับฝุ่นละออง เพื่อให้มั่นใจว่ามีเพียงก๊าซสะอาดเท่านั้นที่ถูกปล่อยออกสู่ชั้นบรรยากาศ

สถานการณ์การใช้งาน Local Scrubber มีมากมาย เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุตสาหกรรมที่เกี่ยวข้องกับกระบวนการที่อุณหภูมิสูง การใช้สารเคมีที่เป็นพิษ หรือการผลิตผลพลอยได้ที่เป็นอันตราย ตัวอย่างเช่น การผลิตแผงเซลล์แสงอาทิตย์มักเกี่ยวข้องกับการใช้ก๊าซอันตรายในระหว่างการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ เครื่องขัดพื้นในพื้นที่จะบำบัดก๊าซเหล่านี้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อให้แน่ใจว่าก๊าซจะไม่หลุดออกสู่สิ่งแวดล้อม

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ก็เป็นพื้นที่การใช้งานหลักสำหรับ Local Scrubber เช่นกัน อุตสาหกรรมเหล่านี้มักปล่อยก๊าซ เช่น NF3, SF6 และสารประกอบฟลูออริเนตอื่นๆ ซึ่งเป็นอันตรายต่อสิ่งแวดล้อมและอาจกัดกร่อนอุปกรณ์ได้ เครื่องฟอกจะกำจัดก๊าซเหล่านี้อย่างมีประสิทธิภาพ ปกป้องทั้งพนักงานและสิ่งแวดล้อมโดยรอบ

โดยสรุป ระบบบำบัดก๊าซไอเสียแบบ Scrubber เฉพาะที่ใช้ประโยชน์จากหลักการทางเคมีและกายภาพในการทำให้เป็นกลางและกำจัดก๊าซที่เป็นอันตรายออกจากกระแสไอเสียทางอุตสาหกรรม สถานการณ์การใช้งานที่หลากหลายในอุตสาหกรรม เช่น เซลล์แสงอาทิตย์ เซมิคอนดักเตอร์ และไมโครอิเล็กทรอนิกส์ แสดงให้เห็นถึงความสำคัญของสิ่งนี้ในการรับรองความปลอดภัยด้านสิ่งแวดล้อมและการปกป้องสุขภาพของมนุษย์