เครื่องควบคุมแรงดันก๊าซความบริสุทธิ์สูง

ความแตกต่างระหว่างอัตราการไหลสูงและต่ำของเครื่องปรับแรงดันก๊าซความบริสุทธิ์สูง:

รีเลกซ์แบบกระแสสูงมักจะออกแบบมาเพื่อจัดการกับการไหลของก๊าซที่มีปริมาณมากกว่า โดยปกติจะวัดเป็นลิตรต่อนาที (L/min) หรือลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง (m³/h) ในทางกลับกัน รีเลกซ์แบบกระแสต่ำเหมาะสำหรับช่วงการไหลของก๊าซที่ต่ำกว่า โดยปกติจะวัดเป็นมิลลิลิตรต่อนาที (mL/min) หรือลิตรต่อชั่วโมง (L/h)

การออกแบบของวาล์วรีเลกซ์สำหรับก๊าซความบริสุทธิ์สูงมาก:

การออกแบบวาล์ว: รีเลกซ์แบบกระแสสูงมักใช้วาล์วและช่องทางที่ใหญ่กว่าเพื่อรองรับการไหลของก๊าซที่มีปริมาณมากกว่า วาล์วเหล่านี้อาจต้องใช้ลูกสูบ แผ่นเยื่อ หรือองค์ประกอบควบคุมของเหลวที่ใหญ่กว่าเพื่อให้สามารถควบคุมการไหลได้อย่างแม่นยำ ในทางกลับกัน รีเลกซ์แบบกระแสต่ำใช้วาล์วและช่องทางที่เล็กกว่าเพื่อรองรับความต้องการของการไหลที่ต่ำกว่า

ช่วงแรงดันของรีเลกซ์แรงดันสำหรับก๊าซความบริสุทธิ์สูงมาก:

รีเจเตอร์แบบที่มีการไหลสูงโดยทั่วไปจะมีช่วงความดันที่กว้างกว่าและสามารถจัดการกับความดันขาเข้าที่สูงกว่าได้ และลดลงมาเป็นความดันขาออกที่ต่ำกว่า รีเจเตอร์แบบที่มีการไหลต่ำอาจมีช่วงความดันที่ค่อนข้างแคบสำหรับความดันขาเข้าที่ต่ำกว่าและให้ช่วงความดันขาออกที่เล็กลง

มิติภายนอกของรีเจเตอร์ความดันก๊าซความบริสุทธิ์สูงมาก:

เนื่องจากรีเจเตอร์แบบที่มีการไหลสูงจำเป็นต้องจัดการกับการไหลของก๊าซที่มากกว่า พวกมันมักจะมีมิติภายนอกที่ใหญ่กว่าและหนักกว่าเพื่อรองรับพลศาสตร์ของของเหลวที่มากขึ้น ในทางตรงกันข้าม รีเจเตอร์แบบที่มีการไหลต่ำสามารถมีขนาดกะทัดรัดและเบาะเบากว่าสำหรับการใช้งานที่มีพื้นที่จำกัดหรือเคลื่อนที่ได้

พื้นที่การใช้งานของรีเจเตอร์ความดันก๊าซความบริสุทธิ์สูงมาก:

เรกูเลเตอร์สำหรับการไหลสูงมักใช้ในงานที่ต้องการอัตราการไหลของก๊าซสูง เช่น การควบคุมกระบวนการทางอุตสาหกรรมและอุปกรณ์ทดลองขนาดใหญ่ เรกูเลเตอร์สำหรับการไหลต่ำใช้ในงานที่ต้องการอัตราการไหลต่ำกว่าและควบคุมได้แม่นยำกว่า เช่น เครื่องวิเคราะห์ในห้องปฏิบัติการ การวิจัยทางวิทยาศาสตร์ เป็นต้น

หลักการทำงานของเรกูเลเตอร์แรงดันก๊าซความบริสุทธิ์สูง:

ตัวลดแรงดันก๊าซความบริสุทธิ์สูงมักใช้ลูกขัดปรับได้และเซนเซอร์แรงดัน เมื่อก๊าซแรงดันสูงเข้าสู่ตัวลดแรงดัน ลูกขัดจะปรับการทำงานโดยอัตโนมัติเพื่อลดแรงดันให้เป็นแรงดันเอาต์พุตตามที่กำหนดไว้

โดยรวมแล้ว ตัวลดแรงดันก๊าซความบริสุทธิ์สูงถูกใช้อย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ เทคโนโลยีนาโน การวิจัยในห้องปฏิบัติการ และสาขาอื่น ๆ ที่ต้องการก๊าซความบริสุทธิ์สูง โดยใช้ควบคุมแรงดันและอัตราการไหลของก๊าซเพื่อตอบสนองความต้องการเฉพาะของการดำเนินการและการทดลอง