ステンレスパイプの高純度ガス配管伝送システムにおける応用

高純度ステンレス鋼管は、高純度および超々高純度ガス、可燃性・爆発性ガス、有毒ガスなどの特殊ガス配管システム、二次導管、その他のガス機器に使用されます。

ステンレス鋼の溶融材料の過程で、約200グラムのガスが1トンあたり吸収されることがあります。ステンレス鋼は加工されると、表面に接着するだけでなく、その金属格子内にも一定量のガスが影響を受けます。パイプライン内で気流がある場合、この部分の金属内に残留しているガスが再び気流に戻り、純粋なガスを汚染することがあります。間欠的なガス流れの場合、パイプは圧力下でガスを吸着して形成され、気流によってガスが停止し、管によって吸着されたガスは減圧分析を行い、解析されたガスも管内の純粋なガスとして不純物として混入します。同時に、吸着と分析により、パイプの表面には一定の粉が生成され、これも管内の純粋なガスに影響を与えます。このパイプの特性は非常に重要であり、配達されるガスの純度を確保するために、内面の非常に高い滑らかさだけでなく、高い耐摩耗性も要求されます。

高純度ガス配管技術は、高純度ガス供給システムの重要な部分です。これは、高純度ガスをガス供給地点まで送るための鍵となる技術です。いわゆる高純度ガス配管技術には、体系的な正しい設計、配管部品および付属品、施工・設置、試験が含まれます。

特に、SiH4のような一部のガスは自己燃焼し、わずかな漏れでも空気中の酸素と激しく反応して燃焼を開始します。また、ASH3の場合、微小な漏れでも人命に危害を及ぼす可能性があり、これらの明らかな危険性により、システム設計の安全性に対する要求が特に高いです。

ガスが強力な腐食性を持つ場合、耐食性のあるステンレス鋼管を使用する必要があります。そうでない場合、配管は腐食による腐食斑を生じ、大きな金属剥離や甚至穿孔が発生し、結果として純粋なガスを汚染することになります。

高いトラフィック、高純度ガス輸送パイプラインの接続は、原則として溶接を行い、溶接中にパイプや組織が変化しないことを要求します。炭素含有量が高い状態で溶接すると、内部と外部のガスが透過するような溶接部分ができ、輸送ガスの純度、乾燥度、清浄度が損なわれ、これまでの努力がすべて無駄になります。

要するに、高純度ガスおよび特殊ガスの配管には、特別な処理を施した高純度ステンレス鋼管が必要であり、高純度ガス配給における高純度配管システム（配管、チューブ、バルブ、VMB、VMPを含む）の構築に重要な役割を果たします。