クリーン窒素パイプライン空気供給の概要
すべての高純度、クリーンな窒素配管は、機器(POU)にパイプラインを通じて供給されることが必要です。機器の品質要件を満たすために、ガス出口の指標がある場合でも、パイプシステム、材料選択、施工品質にさらに注意する必要があります。また、ガスまたは浄化装置の精度だけでなく、パイプラインシステムの多くの要因によって大きく影響を受けます。したがって、パイプの選択は関連する業界の原則に従い、パイプラインの材料を示すべきです。
クリーン窒素配管の材料は使用ニーズに基づいて選択され、316L BAが一般的に使われますが、プロセス反応には参加せずチップと接触します。管内の表面粗さは、パイプの品質を測定するための基準です。粗さが低いほど、粒子の付着可能性は大幅に減少します。
清浄な窒素配管は、ステンレス鋼の溶融材料中にトンあたり約200グラムのガスを吸収することができます。ステンレス鋼は加工されると、表面に接着するだけでなく、その金属の結晶構造内にも一定量のガスが影響を受けます。配管内に気流がある場合、金属内に存在するこの部分のガスが再び気流に戻り、純粋なガスを汚染します。管内の交互流量が連続的な流れでない場合も同様です。
圧力下でパイプが吸着すると、ガスが吸着し、ガスが停止し、パイプによって吸着されたガスはステップダウン分析を形成し、解析されたガスもまた、パイプ内の純ガスとして不純物として使用されます。同時に、吸着と分析を行い、パイプの表面にも一定量の粉末が生成され、これも管内の純化されたガスとなります。このクリーンガス配管の特徴は非常に重要であり、配達されるガスの純度を確保するために、内表面の非常に高い滑らかさだけでなく、高い耐摩耗性特性も必要です。

ガスが強い腐食性を持つ場合、耐食性のあるステンレス鋼管を使用する必要があります。そうでない場合、クリーンガス配管のパイプは腐食により腐食斑が発生し、大きな金属剥離や甚至穿孔が起こり、結果として純ガスが汚染される可能性があります。